계측센서
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로드셀PRODUCT
UWR은 10 N의 저용량 측정을 지원하는 실록산 프리 빔타입 로드셀입니다. 반도체 제조 환경을 고려하여 실록산 발생을 억제하는 구조와 불소수지 케이블을 적용했으며, 웨이퍼 이송 로봇의 파지력 측정, 반도체 장비의 가압력 및 하중 관리에 적합합니다.
UWR 저용량 실록산 프리 빔타입 로드셀
● 10 N 저용량 빔타입 로드셀
● 반도체 제조 장비에 적합한 실록산 프리 구조
● 실록산 발생을 억제하는 불소수지 케이블 적용
● 비직선성 0.03% R.O.
● 반복성 0.02% R.O.
● 약 40 g의 소형·경량 구조
● 고유 진동수 2.5 kHz
※ 제품의 사양 및 치수는 제품 개선을 위해 예고 없이 변경될 수 있습니다.
UWR 저용량 실록산 프리 빔타입 로드셀
